As félvezetőA mikroelektronikai technológiák fejlődésével a nagyobb teljesítmény és a nagyobb integráció felé haladva magasabb követelményeket támasztanak az elektronikus speciális gázok tisztaságával szemben. A nagy tisztaságú gázcsővezeték-technológia a nagy tisztaságú gázellátó rendszer fontos részét képezi. Ez a kulcsfontosságú technológia a nagy tisztaságú gázok olyan szállítására, amelyek megfelelnek a gázfelhasználási pontokhoz támasztott követelményeknek, miközben továbbra is minősített minőséget biztosítanak.
A nagytisztaságú csővezeték-technológia magában foglalja a rendszer helyes tervezését, a csőszerelvények és segédanyagok kiválasztását, a kivitelezést és a telepítést, valamint a tesztelést.
01 A gázszállító csővezetékek általános koncepciója
Minden nagy tisztaságú és állagú gázt csővezetéken kell szállítani a végponti gázpontra. A gázra vonatkozó folyamatminőségi követelmények teljesítése érdekében, amikor a gázexport-index biztos, fokozottan figyelni kell a csővezeték-rendszer anyagválasztására és kivitelezési minőségére. A gáztermelő vagy -tisztító berendezések pontosságán túl a csővezeték-rendszer számos tényezője is nagymértékben befolyásolja azt. Ezért a csövek kiválasztásánál be kell tartani a vonatkozó tisztítóipari elveket, és a csövek anyagát fel kell tüntetni a rajzokon.
02A nagy tisztaságú csővezetékek jelentősége a gázszállításban
A nagy tisztaságú csővezetékek jelentősége a nagy tisztaságú gázszállításban A rozsdamentes acél olvasztási folyamata során minden tonna körülbelül 200 g gázt képes elnyelni. A rozsdamentes acél feldolgozása után nemcsak a felületén tapadnak meg különféle szennyező anyagok, hanem a fémrács is bizonyos mennyiségű gázt abszorbeál. Amikor légáramlás halad át a csővezetéken, a fém által elnyelt gázrész visszakerül a légáramlásba, és szennyezi a tiszta gázt.
Amikor a csőben a légáramlás szakaszos, a cső nyomásadszorpciót képez az áthaladó gázon. Amikor a légáramlás megszűnik, a cső által adszorbeált gáz nyomáscsökkentő analízist végez, és az elemzett gáz szennyeződésként belép a csőben lévő tiszta gázba.
Ugyanakkor az adszorpciós és elemzési ciklus során a cső belső felületén lévő fém bizonyos mennyiségű port képez. Ez a fémpor részecske szintén szennyezi a csőben lévő tiszta gázt. A csőnek ez a tulajdonsága nagyon fontos. A szállított gáz tisztaságának biztosítása érdekében nemcsak a cső belső felületének rendkívül simanak kell lennie, hanem nagy kopásállósággal is kell rendelkeznie.
Ha a gáz erősen korrozív tulajdonságokkal rendelkezik, korrózióálló rozsdamentes acélcsöveket kell használni csővezetékként. Ellenkező esetben a korrózió miatt korróziós foltok jelennek meg a cső belső felületén. Súlyos esetekben nagy fémdarabok válhatnak le vagy akár kilyukadhatnak, ezáltal szennyezve a szállított tiszta gázt.
03Csőanyag
A cső anyagát a felhasználási igényeknek megfelelően kell kiválasztani. A cső minőségét általában a cső belső felületének érdessége alapján mérik. Minél kisebb az érdesség, annál kisebb a valószínűsége, hogy részecskéket szállít. Általában három típusra osztják:
Az egyikEP minőségű 316L cső, amelyet elektrolitikusan políroztak (elektro-polírozás). Korrózióálló és alacsony felületi érdességgel rendelkezik. Az Rmax (maximális csúcs-völgy magasság) körülbelül 0,3 μm vagy kevesebb. A legnagyobb síkfelülettel rendelkezik, és nem könnyen képez mikroörvényáramokat. Távolítsa el a szennyezett részecskéket. A folyamatban használt reakciógázt ezen a szinten kell csővezetékben vezetni.
Az egyik egyBA 316L minőségűcső, amelyet Bright Anneal kezelt, és gyakran használják olyan gázokhoz, amelyek érintkeznek a forgácskal, de nem vesznek részt a folyamatreakcióban, mint például a GN2 és a CDA. Az egyik az AP cső (lágyítás és szedés), amelyet nem kezelnek speciálisan, és általában kettős külső csőkészletekhez használják, amelyeket nem gázellátó vezetékként használnak.
04 Csővezeték-építés
A csőszáj megmunkálása ennek az építési technológiának az egyik kulcsfontosságú pontja. A csővezeték vágását és előregyártását tiszta környezetben végzik, ugyanakkor biztosítják, hogy a vágás előtt ne legyenek káros nyomok vagy sérülések a csővezeték felületén. A csővezeték megnyitása előtt elő kell készíteni a csővezeték nitrogénnel történő átöblítését. Elvileg hegesztéssel kötik össze a nagy tisztaságú és nagy tisztaságú gázszállító és elosztó csővezetékeket nagy áramlási sebességgel, de a közvetlen hegesztés nem megengedett. Burkolatkötéseket kell használni, és a felhasznált csőanyagnak hegesztés közben nem szabad szerkezeti változást mutatnia. Ha túl magas széntartalmú anyagot hegesztenek, a hegesztett rész légáteresztő képessége miatt a csőben lévő és kívüli gáz behatolhat egymásba, tönkretéve a szállítógáz tisztaságát, szárazságát és tisztaságát, ami súlyos következményekkel jár, és befolyásolja a termelés minőségét.
Összefoglalva, a nagy tisztaságú gáz és a speciális gázszállító csővezetékek esetében speciálisan kezelt, nagy tisztaságú rozsdamentes acélcsövet kell használni, ami a nagy tisztaságú csővezeték-rendszert (beleértve a csővezetékeket, csőszerelvényeket, szelepeket, VMB-t, VMP-t) létfontosságú küldetéssé teszi a nagy tisztaságú gázelosztásban.
Közzététel ideje: 2024. november 26.