As félvezetőa mikroelektronikai technológiák pedig a nagyobb teljesítmény és a nagyobb integráció felé fejlődnek, az elektronikai speciális gázok tisztaságával szemben magasabb követelményeket támasztanak. A nagy tisztaságú gázvezeték-technológia fontos része a nagy tisztaságú gázellátó rendszernek. Ez a kulcstechnológia a követelményeknek megfelelő, nagy tisztaságú gázok gázfelhasználási pontokra való eljuttatásában, a minőségi minőség megőrzése mellett.
A nagytisztaságú csővezeték-technológia magában foglalja a rendszer helyes kialakítását, a csőszerelvények és segédanyagok kiválasztását, a kivitelezést és a szerelést, valamint a tesztelést.
01A gázszállító csővezeték általános fogalma
Minden nagy tisztaságú és nagy tisztaságú gázt csővezetéken kell a végállomásra szállítani. A gázra vonatkozó folyamatminőségi követelmények teljesítése érdekében, amikor a gázexport index biztos, jobban oda kell figyelni a csőrendszer anyagválasztására és építési minőségére. A gázelőállító vagy -tisztító berendezés pontosságán túlmenően a vezetékrendszer számos tényezője nagyban befolyásolja. Ezért a csövek kiválasztásánál be kell tartani a vonatkozó tisztítóipari elveket, és meg kell jelölni a csövek anyagát a rajzokon.
02A nagy tisztaságú vezetékek jelentősége a gázszállításban
A nagy tisztaságú csővezetékek jelentősége a nagy tisztaságú gázszállításban A rozsdamentes acél olvasztási folyamata során minden tonna körülbelül 200 g gázt képes felvenni. A rozsdamentes acél feldolgozása után nemcsak a felületére ragadnak különféle szennyező anyagok, hanem a fémrácsában bizonyos mennyiségű gáz is felszívódik. Amikor levegő áramlik át a csővezetéken, a gáz fém által elnyelt része újra belép a légáramba, és szennyezi a tiszta gázt.
Amikor a légáramlás a csőben nem folyamatos, a cső nyomásadszorpciót képez az áthaladó gázon. Amikor a légáramlás megszűnik, a cső által adszorbeált gáz nyomáscsökkentési analízist végez, és a vizsgált gáz szennyeződésként a csőben lévő tiszta gázba is bekerül.
Ugyanakkor az adszorpciós és elemzési ciklus hatására a cső belső felületén lévő fém bizonyos mennyiségű port termel. Ez a fémporrészecske a csőben lévő tiszta gázt is szennyezi. A csőnek ez a tulajdonsága nagyon fontos. A szállított gáz tisztaságának biztosítása érdekében nemcsak az szükséges, hogy a cső belső felülete rendkívül sima legyen, hanem az is, hogy magas kopásállósággal rendelkezzen.
Ha a gáz erős korrozív tulajdonságokkal rendelkezik, akkor korrózióálló rozsdamentes acél csöveket kell használni a csővezetékekhez. Ellenkező esetben a cső belső felületén a korrózió miatt korróziós foltok jelennek meg. Súlyos esetekben a nagy fémdarabok leválnak vagy akár kilyukadnak, ezáltal szennyezik a szállított tiszta gázt.
03 Cső anyaga
A cső anyagválasztását a felhasználási igényeknek megfelelően kell megválasztani. A cső minőségét általában a cső belső felületének érdessége alapján mérik. Minél kisebb az érdesség, annál kevésbé valószínű, hogy részecskéket hordoz. Általában három típusra oszthatók:
Az egyik azEP minőségű 316L cső, amely elektrolitikusan polírozott (Electro-Polish). Korrózióálló és alacsony felületi érdességű. Rmax (a csúcstól a völgyig terjedő maximális magasság) körülbelül 0,3 μm vagy kevesebb. Ennek a legnagyobb a lapossága, és nem könnyű mikroörvényáramot létrehozni. Távolítsa el a szennyezett részecskéket. A folyamatban használt reakciógázt ezen a szinten kell elvezetni.
Az egyik aBA fokozat 316Lcső, amelyet a Bright Anneal kezelt, és gyakran használják olyan gázokhoz, amelyek érintkeznek a chippel, de nem vesznek részt a folyamat reakciójában, mint például a GN2 és a CDA. Az egyik az AP cső (Annealing & Picking), amelyet nem speciálisan kezelnek, és általában kettős külső csőkészletekhez használják, amelyeket nem gázellátó vezetékként használnak.
04 Csővezeték építés
A csőtorkolat feldolgozása ennek az építési technológiának az egyik kulcspontja. A csővezeték átvágását és előgyártását tiszta környezetben végzik, ugyanakkor a vágás előtt a csővezeték felületén nem maradnak káros nyomok, sérülések. A csővezeték nitrogénöblítését a csővezeték megnyitása előtt kell előkészíteni. A nagy tisztaságú és nagy tisztaságú, nagy átfolyású gázszállító és elosztó vezetékek összekötésére elvileg hegesztést alkalmaznak, de a közvetlen hegesztés nem megengedett. Kötelező kötéseket kell használni, és a felhasznált cső anyagának szerkezete ne változzon a hegesztés során. Ha túl magas széntartalmú anyagot hegesztenek, a hegesztőrész légáteresztő képessége miatt a gáz a csövön belül és kívül egymásba hatol, ami tönkreteszi a szállítógáz tisztaságát, szárazságát és tisztaságát, ami súlyos következményekkel jár. és befolyásolják a termelés minőségét.
Összegezve, a nagy tisztaságú gáz- és speciális gázszállító vezetékeknél speciálisan kezelt, nagy tisztaságú rozsdamentes acél csövet kell alkalmazni, ami miatt a nagy tisztaságú vezetékrendszer (beleértve a vezetékeket, csőszerelvényeket, szelepeket, VMB-t, VMP-t) egy kb. létfontosságú küldetése a nagy tisztaságú gázelosztásban.
Feladás időpontja: 2024.11.26