1. Tömeges gázrendszer meghatározása:
Inert gázok tárolása és nyomásszabályozása Gáztípusok: Tipikus inert gázok (nitrogén, argon, sűrített levegő stb.)
Csővezeték mérete: 1/4-től (figyelő csővezeték) a 12 hüvelykes fővezetékig
A rendszer fő termékei: membránszelep/csőrugós szelep/gömbcsap, nagy tisztaságú csatlakozó (videomagnó, hegesztőforma), érvéghüvely csatlakozó, nyomásszabályozó szelep, nyomásmérő, stb.
Jelenleg az új rendszer egy ömlesztett speciális gázrendszert is tartalmaz, amely rögzített gázpalackokat vagy tartálykocsikat használ a tároláshoz és a szállításhoz.
2. A tisztítórendszer meghatározása:
Szennyeződések eltávolítása ömlesztett gázokból nagy tisztaságú gázvezetékekhez
3. A gázszekrények meghatározása:
Nyomásszabályozás és áramlásfelügyelet biztosítása speciális gázforrások (mérgező, gyúlékony, reakcióképes, korrozív gázok) esetén, valamint a gázpalackok cseréjének lehetősége.
Helyszín: A Sub-fab emeletén vagy az alsó szinten található speciális gázok tárolására Forrás: NF3, SF6, WF6 stb.
Csővezeték mérete: Belső gázvezeték, általában 1/4 hüvelyk technológiai csővezetékhez, 1/4-3/8 hüvelyk főként nagy tisztaságú nitrogén-öblítő csővezetékhez.
Főbb termékek: Nagy tisztaságú membránszelepek, visszacsapó szelepek, nyomásmérők, nyomásmérők, nagy tisztaságú csatlakozók (videomagnó, hegesztési forma) Ezek a gázszekrények alapvetően tartalmazzák a palackok automatikus kapcsolási lehetőségeit, amelyek biztosítják a folyamatos gázellátást és a palackok biztonságos cseréjét.
4. Elosztás meghatározása:
A gázforrás csatlakoztatása a gázgyűjtő tekercshez
Vonalméret: A forgácsgyárban az ömlesztett gázelosztó vezeték mérete általában 1/2 hüvelyk és 2 hüvelyk között van.
Csatlakozási forma: A speciális gázvezetékeket általában hegesztéssel kötik össze, mechanikus csatlakozás vagy egyéb mozgó alkatrész nélkül, főként azért, mert a hegesztési csatlakozás erős tömítési megbízhatósággal rendelkezik.
Egy chipgyárban több száz kilométernyi cső van csatlakoztatva a gáz továbbítására, amelyek alapvetően körülbelül 20 méter hosszúak és össze vannak hegesztve. Egyes csőhajlítások és csőhegesztési csatlakozások szintén nagyon gyakoriak.
5. Többfunkciós szelepdoboz (Valve Manifold Box, VMB) Meghatározás:
Ez a speciális gázok elosztása a gázforrásból a berendezés különböző végeire.
Belső csővezeték mérete: 1/4 hüvelykes folyamatcső és 1/4 - 3/8 hüvelykes ürítőcső. A rendszer számítógépes vezérlést alkalmazhat, hogy működtetett szelepeket igényeljen, vagy alacsonyabb költségű helyzeteket kézi szelepekkel.
Rendszertermékek: nagy tisztaságú membránszelepek/harmonikus szelepek, visszacsapó szelepek, nagy tisztaságú kötések (videomagnó, mikrohegesztési forma), nyomásszabályozó szelepek, nyomásmérők és nyomásmérők, stb. Egyes inert gázok elosztására a szelepelosztó panel - Elsősorban a VMP-t (multi-function valve disc) használják, amely nyitott gáztárcsás felülettel rendelkezik, és nem igényel zárt tér kialakítást és további nitrogén öblítést.
6. Másodlagos szeleplemez/doboz (szerszámcsatlakozó panel) Meghatározás:
Csatlakoztassa a félvezető berendezés által igényelt gázt a gázforrástól a berendezés végéhez, és gondoskodjon a megfelelő nyomásszabályozásról. Ez a panel egy gázvezérlő rendszer, amely közelebb van a berendezés végéhez, mint a VMB (multi-function valve box).
Gázvezeték mérete: 1/4 - 3/8 hüvelyk
Folyadékcsővezeték mérete: 1/2 - 1 hüvelyk
A nyomócső mérete: 1/2 - 1 hüvelyk
Főbb termékek: membránszelep / harmonikaszelep, egyirányú szelep, nyomásszabályozó szelep, nyomásmérő, nyomásmérő, nagy tisztaságú csatlakozás (videomagnó, mikrohegesztés), érvéghüvely, gömbcsap, tömlő stb.
Feladás időpontja: 2024.11.22