1. Tömeges gázrendszer meghatározása:
Inert gázok tárolása és nyomásszabályozása Gáztípusok: Tipikus inert gázok (nitrogén, argon, sűrített levegő stb.)
Csővezeték mérete: 1/4 hüvelyktől (monitorozó csővezeték) 30 cm-es fővezetékig
A rendszer fő termékei: membránszelep/harmonikaszelep/gömbcsap, nagy tisztaságú csatlakozó (VCR, hegesztőforma), hüvelyes csatlakozó, nyomásszabályozó szelep, nyomásmérő stb.
Jelenleg az új rendszer egy speciális gázokat tároló nagymennyiségű rendszert is tartalmaz, amely rögzített gázpalackokat vagy tartálykocsikat használ a tároláshoz és szállításhoz.
2. Tisztítórendszer meghatározása:
Szennyeződések eltávolítása nagy tisztaságú gázvezetékekből
3. Gázszekrények meghatározása:
Biztosítani kell a nyomásszabályozást és az áramlásfigyelést speciális gázforrások (mérgező, gyúlékony, reaktív, korrozív gázok) esetén, és képesnek kell lennie a gázpalackok cseréjére.
Helyszín: Az alagsor szintjén vagy a földszinten található speciális gázok tárolására. Forrás: NF3, SF6, WF6 stb.
Csővezeték mérete: Belső gázvezeték, általában 1/4 hüvelyk a technológiai csővezetékhez, 1/4-3/8 hüvelyk főként a nagy tisztaságú nitrogénes tisztítóvezetékhez.
Fő termékek: Nagy tisztaságú membránszelepek, visszacsapó szelepek, nyomásmérők, nyomásmérők, nagy tisztaságú csatlakozók (VCR, hegesztőforma). Ezek a gázszekrények alapvetően automatikus palackkapcsoló képességekkel rendelkeznek a folyamatos gázellátás és a palackok biztonságos cseréjének biztosítása érdekében.
4. Eloszlás definíciója:
A gázforrás csatlakoztatása a gázgyűjtő tekercshez
Vezetékméret: A forgácsgyárban a gázelosztó csővezeték mérete általában 1/2 hüvelyk és 2 hüvelyk között mozog.
Csatlakozási forma: A speciális gázvezetékeket általában hegesztéssel, mechanikus csatlakozás vagy más mozgó alkatrész nélkül kötik össze, főként azért, mert a hegesztési csatlakozás erős tömítőképességgel rendelkezik.
Egy chipgyárban több száz kilométernyi csővezeték csatlakozik a gáz továbbításához, amelyek alapvetően körülbelül 6 méter hosszúak és összehegesztettek. Néhány csőhajlítás és csőhegesztési csatlakozás is nagyon gyakori.
5. Többfunkciós szelepdoboz (szelepelosztó doboz, VMB) Meghatározás:
Különleges gázok elosztására szolgál a gázforrástól a berendezés különböző végeihez.
Belső csővezeték mérete: 6 mm-es folyamatvezeték és 6 mm-es - 9 mm-es öblítővezeték. A rendszer számítógépes vezérlést használhat működtetett szelepek igényléséhez vagy alacsonyabb költségű, manuális szelepekkel történő megoldásokhoz.
Rendszertermékek: nagy tisztaságú membránszelepek/harmonikaszelepek, visszacsapó szelepek, nagy tisztaságú csatlakozók (VCR, mikrohegesztő forma), nyomásszabályozó szelepek, nyomásmérők és nyomásmérők stb. Egyes inert gázok elosztásához főként a szelepelosztó panelt - VMP-t (multifunkciós szeleptányért) használják, amely nyitott gáztárcsa felülettel rendelkezik, és nem igényel zárt térbeli kialakítást és további nitrogénöblítést.
6. Másodlagos szeleplemez/doboz (szerszámcsatlakozó panel) Meghatározás:
Csatlakoztassa a félvezető berendezés által igényelt gázt a gázforrástól a berendezés végéhez, és biztosítsa a megfelelő nyomásszabályozást. Ez a panel egy gázszabályozó rendszer, amely közelebb található a berendezés végéhez, mint a VMB (multifunkciós szelepdoboz).
Gázvezeték mérete: 1/4 - 3/8 hüvelyk
Folyadékcső mérete: 1/2 - 1 hüvelyk
Kiömlőcső mérete: 1/2 - 1 hüvelyk
Fő termékek: membránszelep/harmonikaszelep, egyirányú szelep, nyomásszabályozó szelep, nyomásmérő, nyomásmérő, nagy tisztaságú kötés (VCR, mikrohegesztés), hüvelykötés, gömbcsap, tömlő stb.
Közzététel ideje: 2024. november 22.